接着昨天来,分析光器件失效,超声波扫描显微镜和x-ray(就是咱们去医院照的x光)经常配合使用
超声波扫描显微镜,对空气敏感,可以探测材料裂纹、气泡、分层等等。
x-ray对于金属连接线的断路、短路分析很有效果。
x射线波长在0.01~10nm,比可见光波长短
▼电磁波谱总表
范围 | 频率 | 波长 |
无线电波 | 3Hz ~ 3000GHz
| 10万公里 ~ 0.1毫米 |
红外线 | 300GHz ~ 384THz | 1毫米 ~ 760纳米
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可见光 | 384THz ~ 789THz | 760纳米 ~ 380纳米 |
紫外线 | 789THz ~ 30000THz | 380纳米 ~ 10纳米 |
X射线 | 30000THz ~ 3x10^19 Hz | 10纳米 ~ 0.01纳米 |
γ射线 | 3x10^18 Hz ~ 3x10^22 Hz | 100皮米 ~ 0.01皮米
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宇宙射线 | ≥10^22Hz | <0.01皮米 |
波长短,有什么用? 通常固体中原子分布,比如金属,原子间距在1nm级别。
小于1nm的x射线就可以穿过原子,
而几十/几百纳米的紫外线就没办法穿透
x射线,不是全部穿透原子,有一部分射线能量被原子外层电子吸收成为自由电子,发生电离现象。
人体照射x光照片,一部分能量被吸收到体内,造成伤害。
比如激光器要封装,我们肉眼看起来下图这样
实际里边是这样
如果给器件加x-ray
会看到金丝有脱落现象
下左是未拆封的器件x-ray照片,下右是拆盖后扫描电镜下的金丝断裂图